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中国自主研发 DUV 光刻机启动量产,长鑫存储等厂商或为首批客户
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2026-07-27 22:01:00
中国自主研发 DUV 光刻机启动量产,长鑫存储等厂商或为首批客户
据 The Information 援引知情人士消息,一家获中国国有资本支持的企业已开始量产自主研发的 DUV 光刻机,计划 2026 年生产约 5 台,2027 年生产约 20 台。ASML 去年交付 131 套浸没式 DUV 光刻系统。这批国产 DUV 光刻机计划交付给中芯国际、华虹半导体以及长鑫存储,其中长鑫存储预计将成为国产先进半导体制造设备的重要应用方。
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编辑部综合报道
2026-07-27 22:01:00
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